液相芯片微流器件制备方法综论

【摘要】 微流器件的制备是 液相芯片技术一项重要的相关技术。 分别简要地介绍了硅、玻璃和石英基片的机械加工法、光刻和蚀刻法与高分子基片的激光烧蚀法制备微流器件的原理和方法，以及实验结果。

【关键词】液相芯片  微流器件  机械加工   光刻和蚀刻   激光烧蚀

中图分类号： TH7 9             文献标识码： A          

文章编号：1005—5630(2005)04—0092—05